測定したいポイントの高低どちらか一方に焦点を合わせてZ軸のエンコーダ数値(高さ)ともう一方の高さ(深さ)を測定し、これら2点間の距離測定をすることで高さを算出します。 光学測定システムを使用してZ軸を頻繁に測定する場合は、被写界深度が小さい高倍率の対物レンズを使用することをお勧めします。これにより、測定結果の繰り返し精度を向上させることができます。